Electron Spectroscopy(XPS, AES)
電子分光法(Electron Spectroscopy)を用いることによって、 作製した薄膜を評価することができる。 我々は、ESCALABという装置を使い、XPSとAESという方法で薄膜の表面の評価をしている。 また、Windows用XPS解析オリジナルソフト (FDL Surface Analyzer)の作製も行なっている。 我々は、基本的に、無い物は自分達で作るという心がけをもっている。
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ESCALAB |
XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
物質にＸ線を照射すると、そのエネルギー以下のエネルギーで 原子や分子に束縛されている電子が真空準位まで励起され、 物質の表面から光電子がとびだす。 電子は、固有なエネルギーによって、原子や分子に束縛されているので、 その束縛エネルギー（結合エネルギー）を測定することによって、 表面の元素組成分析ができる。 原子が化学結合していると、結合エネルギーがシフト（化学シフト）するが、 その化学シフトをみることによって、表面の化学状態を知ることができる。 このようにして、表面の元素の組成や化学状態などを測定する方法を、 Ｘ線光電子分光法(XPS)という。 また、この方法は、化学状態分析ができることから、 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)と呼ばれることもある。
AES(Auger Electron Spectroscopy)
物質に電子線を照射すると、原子や分子によって固有な運動エネルギーをもつ オージェ(Auger)電子がとびだす。 このオージェ電子の運動エネルギーを測定することによって、 物質の表面の元素組成分析ができる。 AESスペクトルにも化学シフトがみられる。
by D.Barada